公司的成立与发展，本身就是一段中国半导体装备产业的整合与突破史。它的前身可追溯到两家在2001年几乎同时成立的公司：北京七星华创电子股份有限公司（简称“七星电子”）和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司（简称“北方微电子”）。

七星电子成立于2001年9月，于2010年在深交所上市，是国内集成电路装备上市公司，在清洗机、氧化炉、CVD（化学气相沉积）及气体质量流量控制器等领域拥有深厚积累。而北方微电子则成立于2001年10月，是由北京电控联合清华、北大、中科院微电子所等单位共同出资创建，从一开始就专注于刻蚀机（Etch）、PVD（物理气相沉积）和CVD等高端集成电路装备的研发，旨在打破国外垄断。

2017年1月，为了整合资源、做强做大半导体装备业务，七星电子与北方微电子实施战略重组。作为重组的关键一步，“北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司”正式更名为“北京北方华创微电子装备有限公司”，其主营业务整合了原七星电子的半导体装备相关业务与原北方微电子的全部业务。这次“珠联璧合”，使得新成立的北方华创微电子一举成为当时国内覆盖领域最广、产品种类最多、综合实力最强的半导体装备平台。

重组后的公司驶入了发展的快车道，产品线涵盖了刻蚀机、PVD、CVD、氧化/扩散设备、清洗机、退火设备等核心半导体工艺装备，广泛应用于集成电路、先进封装、LED、MEMS、功率器件、平板显示等多个领域，实现了多项国产替代。公司在技术上持续取得里程碑式的突破，例如自主研发的14nm等离子硅刻蚀机等设备成功进入主流集成电路代工厂，28nm Hardmask PVD设备率先进入国际供应链体系。

近年来，公司的市场地位和经营业绩更是实现了跨越式增长。2023年，其营收突破220亿元，归母净利润达38.99亿元，正式跨入“百亿级”发展新阶段，并荣登Gartner全球集成电路装备企业排名中国第1位。到2024年，集团营收更是进一步跃升至298.38亿元，在全球集成电路装备企业中排名升至第6位。截至2024年底，公司累计申请专利超过9200件，获得授权专利超过5300件，彰显了其强大的研发实力。如今，北方华创微电子已在北京、上海、台湾新竹、韩国、日本、美国等地设立了多个研发、制造及服务中心，营销服务体系覆盖全球主要国家和地区。