🏢 公司档案

🎯 核心业务与产品

中科飞测专注于高端半导体质量控制领域，为集成电路客户提供全流程良率管理解决方案。

• 技术路线：公司已从光学检测技术拓展至“光学+电子束+X光”三大核心技术路线。

• 核心产品：

• 检测设备：用于检测晶圆表面的颗粒污染、划伤等缺陷。

• 量测设备：用于测量薄膜厚度、关键尺寸等物理参数。

• 良率管理软件：利用AI和大数据技术分析数据，提升良率。

• 产品矩阵：已形成十三大系列设备的产品矩阵，全面覆盖晶圆制造环节。

💰 近期财务表现

公司营收高速增长，但利润端因持续高研发投入而波动较大。

2025年归母净利润扭亏为盈，但扣非净利润仍为负，盈利质量有待提升。2026年Q1亏损扩大，主要因研发投入和人员规模扩张，导致期间费用同比增长，而营收增长相对滞后。

🚀 近期动态与战略布局

• 在手订单充足：截至2026年Q1，公司合同负债达8.81亿元，同比增长46.22%，表明在手订单充足。

• 新产品进展顺利：暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备等新产品已通过多家头部客户验证并实现批量销售。

• 产能扩建：上海张江研发中心及生产基地项目1#生产厂房已于2026年1月封顶。

• 机构高度关注：2026年5月，曾有175家机构联合调研该公司。

• 市场表现：截至2026年6月17日，公司股价报248.42元/股，总市值约869.88亿元。